该装置主要由尾气储气罐、压力系统、电控系统、变频压缩机、钢瓶组成，尾气储气罐一端与六氟化硫试验尾气入口链接,用于将六氣化硫气体暂时保存，尾气储气罐的另一端与变频压缩机相连接,用于六氟化硫气体的压缩，变频压缩机的另一端与钢瓶连接，最终压缩后的六氟化硫气体存储在钢瓶内。尾气储气罐内部设置有压力传感器,当压力传感器数值显示到设定值时，电控系统开始自动操作变频压缩机开始工作，把尾气储气罐内的气体压缩于钢瓶内，当尾气储气罐内压力降低至大气压值时，电控系统操控变频压缩机停止工作。

本装置适用于对六氟化硫湿度仪、纯度仪、分解产物测试仪等试验仪器的试验尾气进行回收,可以在不影响六氟化硫试验仪器则试数据准确度的前提下，对试验过程中排放的六氟化硫气体进行回收,实现六氟化硫气体试验尾气的零排放,具有便携性好回收能力强、适用范围广(适用于多种六氟化硫气体试验仪)的优点。