● 大容量储存功能
● 电池电量提示
● 重复性好、响应速度快
● 触摸式操作仪器
● 大屏幕彩色液晶显示
● 先进的探头保护功能
● 抗污染、抗干扰
● 灵敏度高、稳定性好
● 体积小巧美观，易于携带
● 直观的曲线显示
● 微水值自动转换成20℃标准微水值
【纯度检测模块】
|
测量范围 |
0～99.99% |
|
测量精度 |
±0.2% |
|
重复性 |
±0.1% |
|
分辨率 |
0.01% |
【分解产物检测模块】
|
测量范围 |
CF4：0.00%-0.10% 空气：0.00%-0.05% |
|
测量精度 |
CF4：误差±0.01% 空气：误差±0.01% |
|
重复性 |
CF4：测量值≥0.05%时，重复性≤0.24% 空气:测量值≤0.005%时，重复性≤0.2% |
|
分辨率 |
0.01% |
【其他参数】
|
气体流量 |
流量调节阀调节在0.3L/min左右 |
|
探头保护 |
不锈钢烧结过滤网 |
|
工作环境 |
温度：-10℃—+50℃ 湿度：0—90% |
|
工作电源 |
锂电池供电，交直流电两用，自动切换，过充过放保护功能 |
